线扫光源
- 风冷却光源
-- 风冷超高亮型线光源
-- 风冷高亮型线光源
-- 风冷标准型线光源
- 气冷却光源
-- 气冷超高亮型线光源
-- 气冷高亮型线光源
标准光源
- 环形光源
- 条形光源
- 同轴光源
- 球积分光源
- 平行光源
- 拱形散射光源
- 背光源
特种光源
- 多角度分时切换线扫光源
- 明暗场背光分时切换线扫光源
- 谱功率可调宽光谱光源
标准光源控制器
高频闪大功率光源控制器
光谱共焦传感器
反射光谱传感器
多维视觉传感器
变形应变检测仪
晶圆
- 裸晶圆检测
- 图案晶圆检测
芯片
封装
- COF检测
- 柔性电路板
互连
板材
卷材
激光散斑干涉(DSPI)的三维微变形/应变测量仪,可进行材料与结构的高精度三维微位移场/变形场/应变场的非接触测量,测量灵敏度达到纳米,适合于航空、航天、机械、汽车、船舶、土木、建筑、桥梁等的材料和结构机械力学性能高精度非接触测试。
高精度三维微变形/应变激光测量仪
主要技术参数:
1、x、y、z三方向变形测量;
2、全场位移/变形同步测量;
3、单次测量范围>1m×1m;
4、灵敏度优于20nm。